研磨液檢測儀根據(jù)歐盟和國標頒布鎳釋放標準制造，應(yīng)用范圍廣泛，配合六角型滾筒金屬樣品掛架磨料和磨漿，方便實驗室人員使用，可通過電腦控制，提供穩(wěn)定的轉(zhuǎn)速；可順時針或者逆時針轉(zhuǎn)動。

   研磨液檢測儀數(shù)碼計算機控制，軟墊頭接觸式按鈕提供標準的時間及程序調(diào)教，全自動設(shè)計，能于特定時間轉(zhuǎn)向，預設(shè)順逆各轉(zhuǎn)2.5小時，測試完成后鎳釋放儀器自動停止。目前，研磨液檢測儀技術(shù)已經(jīng)發(fā)展成以化學機械拋光機為主體，集在線檢測、終點檢測、清洗等技術(shù)于一體的CMP技術(shù)，是集成電路向微細化、多層化、薄型化、平坦化工藝發(fā)展的產(chǎn)物，同時也是晶圓由200mm向300mm乃至更大直徑過渡、提高生產(chǎn)率、降低制造成本、襯底全局平坦化所必需的工藝技術(shù)。

   研磨液檢測儀具有動態(tài)粒徑范圍廣，檢測時間短及重現(xiàn)性高等特點，所以常用來檢測的粒徑分布特征，激光衍射儀的工作原理是基于不同性質(zhì)的兩個物理量，理論上講，對于特定粒徑的粒子，激光衍射會產(chǎn)生一個明暗相間的衍射環(huán)。研磨液檢測儀衍射環(huán)的位置及相鄰光環(huán)間的距離與粒子的粒徑成反比。但是對于粒徑小于2μm的粒子，衍射環(huán)就檢測不到，此時必須以另一種的方法，該方法描述了一個特定粒子由于各點散射光波的相互干涉導致的大角散射的改變，而這種散射角度的變化不僅取決于粒子粒徑與激光波長，還與粒子的吸光性質(zhì)與折射率有關(guān)。

   研磨液檢測儀為用戶提供可方便、快捷、、可靠的粒徑分析，是一臺掃頻接收機，輸入信號與本地振蕩信號在混頻器變頻后，經(jīng)過一組并聯(lián)的不同中心頻率的帶通濾波器，使輸入信號顯示在一組帶通濾波器限定的頻率軸上。顯然，由于帶通濾波器由無源元件構(gòu)成，頻譜分析器整體上顯得很笨重，而且頻率分辨率不高。